MPT-1D系列(一維直驅式工作臺)
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主要參數
MPT-1DN/RL010 | MPT-1DN/RL025 | MPT-1DN/RL050 | |
運動自由度 | X | X | X |
行程范圍 (μm±10%) |
10 | 25 | 50 |
位移分辨率 (nm) |
1 | 2.5 | 5 |
重復定位精度 (nm) |
(nm)
-/10 | -/25 | -/50 |
運動方向最大推力 (N) |
1000 | 1000 | 1000 |
運動方向最大拉力 (N) |
30 | 70 | 100 |
最大負載 (Kg) |
2.5 | 2.5 | 1.5 |
固有頻率 (Hz) |
1450 | 900 | 400 |
重量 (g±5%) |
200 | 280 | 700 |
工作電壓 (V) |
0~150 | 0~150 | 0~150 |
工作溫度范圍 (℃) |
-20~80 | -20~80 | -20~80 |
外型尺寸 A×C (mm) |
60×50 | 80×70 | 100×90 |
外型尺寸 K×J (mm) |
22×24.5 | 22×24.5 | 23×26.5 |
運動部分 B×D (mm) |
30×30 | 45×45 | 70×70 |
運動部分 E×F (mm) |
22×22 | 38×38 | 60×60 |
運動部分 G (mm) |
27.5 | 40 | 48 |
安裝尺寸 M×L (mm) |
4.5×8 | 4.5×8 | 4.5×8 |
安裝尺寸 I |
M4 | M4 | M4 |
模型下載 |
IGS | IGS | IGS |
開環工作臺推薦匹配電源型號:HPV-1C0150A0500;閉環工作臺推薦匹配電源型號:PPC-1CR0150