MPT-1L系列(一維L式物鏡臺)

     
主要參數

	MPT-1LN/RL060	MPT-1LN/RL100	MPT-1LN/RL140
運動自由度	Z	Z	Z
行程范圍（μ m±10%）	60	100	140
位移分辨率（nm）	6	10	14
重復定位精度（nm）	-/60	-/100	-/140
最大負載（Kg）	1	1	1
靜電電容（uF±10%）	90	120	140
運動方向上剛度（N/μm±20%）	0.2	0.2	0.2
工作電壓（V）	0～150	0～150	0～150
工作溫度范圍 (℃ )	-20 ～ 80	-20 ～ 80	-20 ～ 80
外形尺寸A（mm）	33	43	51
模型下載	IGS	IGS	IGS

開環工作臺推薦匹配電源型號：HPV-3C0150A0500;閉環工作臺推薦匹配電源型號：PPC-1CR0150