MPT-1U系列(一維U式物鏡臺)
![]() |
![]() |
主要參數
MPT-1UN/RL010
MPT-1UN/RL025
MPT-1UN/RL050
MPT-1UN/RL100
運動自由度
X
X
X
X
行程范圍(μ m±10%)
10
25
50
100
位移分辨率(nm)
1
2.5
5
10
重復定位精度(nm)
-/10
-/25
-/50
-/100
最大負載(Kg)
1
1
1
1
靜電容量(μ F±10%)
4
6
4
6
運動方向上剛度(N/μm)
90
45
0.5
0.2
工作電壓(V)
0~150
0~150
0~150
0~150
工作溫度范圍 (℃ )
-20 ~ 80
-20 ~ 80
-20 ~ 80
-20 ~ 80
外形尺寸A×B×C(mm)
30×45×45
45×48×45
30×45×45
30×60×45
模型下載
IGS
IGS
IGS
IGS
開環工作臺推薦匹配電源型號:HPV-3C0150A0500;閉環工作臺推薦匹配電源型號:PPC-1CR0150