MPT-1U系列(一維U式物鏡臺)

     
主要參數

	MPT-1UN/RL010	MPT-1UN/RL025	MPT-1UN/RL050	MPT-1UN/RL100
運動自由度	X	X	X	X
行程范圍（μ m±10%）	10	25	50	100
位移分辨率（nm）	1	2.5	5	10
重復定位精度（nm）	-/10	-/25	-/50	-/100
最大負載（Kg）	1	1	1	1
靜電容量（μ F±10%）	4	6	4	6
運動方向上剛度（N/μm）	90	45	0.5	0.2
工作電壓（V）	0～150	0～150	0～150	0～150
工作溫度范圍 (℃ )	-20 ～ 80	-20 ～ 80	-20 ～ 80	-20 ～ 80
外形尺寸A×B×C（mm）	30×45×45	45×48×45	30×45×45	30×60×45
模型下載	IGS	IGS	IGS	IGS

開環工作臺推薦匹配電源型號：HPV-3C0150A0500;閉環工作臺推薦匹配電源型號：PPC-1CR0150