MPT-3P系列(三維并聯式工作臺)

     
主要參數

型號	MPT-3JN/RL030
運動自由度	Z ,θx,θy
行程范圍(μ m±20%)	30
轉角范圍(mrad±20%)	0.6,0.6
位移分辨率(nm)	3
重復定位精度(nm)	-/30
運動方向上剛度(N/μm±20%)	2
最大負載(Kg)	0.5
固有頻率(Hz±20%)	500
工作溫度范圍(℃)	-20 ～ 80
模型下載	IGS

開環工作臺推薦匹配電源型號：HPV-3C0150A0500;閉環工作臺推薦匹配電源型號：PPC-2CR0150