MPT-6P系列(六維并聯式工作臺)
主要參數
型號 |
MPT-6JN/RL050 |
運動自由度 |
X,Y,Z ;θx,θy,θz |
行程范圍(μm±20%) |
50,50,30 |
轉角范圍
(mrad±20%) |
0.6,0.6,1 |
位移分辨率
(nm) |
0.6,0.6,1 |
重復定位精度
(nm) |
-/50,-/50,-/30 |
運動方向上剛度(N/μm±20%) |
50 |
最大負載
(Kg) |
5 |
固有頻率
(Hz±20%) |
1500 |
工作溫度范圍
(℃) |
-20 ~ 80 |
模型下載
|
IGS |
開環工作臺推薦匹配電源型號:HPV-3C0150A0500;閉環工作臺推薦匹配電源型號:PPC-2CR0150
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